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技術文章
TECHNICAL ARTICLES化學機械平面化（CMP）是半導體、硬盤和LED晶片制造行業的關鍵過程，用于實現基板晶片所需的平整度。平面化對于確保結構內多層互連的功能性以及在保持均勻性的同時減少晶片厚度至關重要。隨著特征尺寸繼續縮小和集成級別繼續提高，CMP預計在未來微電子設備的發展中將扮演越來越重要的角色。通過精確控制表面地形和材料屬性，CMP可以實現新型的設備架構，如3D堆疊、finFETs、納米線和量子點。此外，化學機械平面化還可以通過克服傳統蝕刻技術的限制，促進新材料的集成，如高k電介質、低k電介質...
研究重點是改善類金剛石（DLC）涂層的摩擦力學性能。這類涂層采用新型PVD技術高功率脈沖磁控濺射（HiPIMS），通過正脈沖沉積在工具鋼上。這些涂層因其優異的耐磨性、極低的摩擦系數、*高的硬度或生物相容性而受到業界的高度關注。研究的目的是提高DLC涂層在不同鋼基材上的附著或耐磨性等摩擦力學性能。我們期望借助Sensofar的3D光學輪廓儀，在更高質量的2D和3D圖像中以更高的測量精度進行表面表征。我們測量了有涂層和無涂層圓形樣品和平面樣品。使用不同的鋼材和陶瓷作為基材。使DL...
在過去十年中，增材制造因其相對于傳統減材和等材方法的優點而被工業界采用。對于創造復雜幾何形狀來說，增材制造所提供的可能性使用傳統制造方法是無法實現的。然而，其存在一些缺點，如缺乏標準化、難以控制生產出樣品的尺寸和表面性質以及在大多數情況下需要后續處理步驟等。在本研究中，我們希望通過測量形狀和表面紋理，來測量單個參數在制造部件最終性能上可能產生的改變。研究1.作為工藝參數（材料及其他）函數的形狀偏差對于本研究案例，我們使用“選擇性激光熔化”技術兩次生產相同的試樣，但是使用了兩種...
激光加工工藝通過進行毛化，產生表面摩擦、觸覺行為、潤濕特性等強化功能性能來開發設計表面。在皮秒和飛秒區域中使用超短脈沖持續時間的激光加工讓表面毛化具有高度精致的微幾何形狀、邊緣和效果。5軸激光加工使三維部件的無縫毛化能夠具有復雜的輪廓。SensofarSneox3D光學輪廓儀已成為MTC表面織構開發的一個組成部分。在與一家汽車公司進行的合作實驗研究中（該研究為歐洲資助的Prometheus項目的一部分），在MTC開發了表面織構，并使用飛秒激光系統將其應用到汽車內燃機缸套部分的...
激光技術非常適合用于制造模具中的微孔、微流控通道或甚至是強化鋼或硬金屬工具的微銑削。我們使用納秒和飛秒激光來實現出色的表面質量。因此，激光技術用于功能性紋理，在其中雕刻的納米結構增加了功能性。例如，我們可以創建減少摩擦或增加衍射、捕獲或擴散的結構。其他結構可能是超疏水甚至是抗菌的。對于功能性紋理，超短脈沖持續時間的激光，如飛秒激光，有兩個主要優勢。首先，微銑削沒有毛刺，因此部件幾乎沒有熱效應。結果是一個干凈、銳利的微銑削，具有明確的邊緣和高質量的表面處理。其次，因為它是一個“...
在醫學領域，病理學研究是診斷疾病、指導治療和評估療效的重要手段。組織切片技術作為病理學研究的核心環節，對于疾病的診斷和研究具有重要意義。組織切片機作為一種關鍵的設備，為病理學家提供了高效、準確的組織切片制作方法。本文將以該設備在病理學研究中的應用實例為主題，詳細介紹其在各個領域的應用情況。高分子切片機在腫瘤病理學研究中發揮著重要作用。通過對腫瘤組織的切片觀察，病理學家可以準確地判斷腫瘤的類型、分級和侵襲性，為臨床制定個體化的治療方案提供依據。該設備在腫瘤病理學研究中的廣泛應用...
QFN引腳*受歡*的集成電路封裝類型之一是QFN（Quad-flatNoLead,四扁平無引線）封裝，因為它能夠滿足包含消費電子、汽車以及高功率產品等在內的眾多不同應用中的需求。引腳的平整度是一個重要的待評估的元素。使用SensoVIEW的輪廓工具，我們可以很好的評估它。QFN導熱墊平整度(Sz)對于確保焊盤和芯片底部之間的良好連接以實現高性能的散熱至關重要。SensoVIEW可以直接進行平整度評估，但為了避免測量中由于干擾信號造成的可能出現的尖峰，我們應用了調平和設置合適的...
引力波是時空織物中的波動。當重要的宇宙事件如超新星爆炸或黑洞之間的相互作用發生時，所產生的引力波可以在地球上被探測到。經過50年的科學研究和技術發展，我們已經能夠感知引力波。先進維爾戈是一個巨大的邁克爾遜干涉儀，能夠探測到引力波（圖1）。它有兩條垂直的長達3公里的臂，懸掛的鏡子和其他必要的儀器來組成一個干涉儀。引力波通過懸掛的鏡子的運動來改變光束的光學路徑。光學路徑隨之改變，形成了干涉圖樣。圖1.先進維爾戈探測器的圖片。由EGOVirgo提供。巴塞羅那高能物理研究所（IFAE...