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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?

產品簡介

Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?
Sensofar S lynx輪廓儀的測量穩定性和使用壽命，與其硬件架構設計和材料選擇相關聯。從整體結構到核心組件，其設計均考慮了工業化環境下的使用需求。

產品型號：lynx2
更新時間：2025-10-23
廠商性質：代理商
訪問量：110
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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南

建立并遵循規范的操作流程，是使用Sensofar S lynx輪廓儀獲得可靠、可重復測量結果的重要環節。流程涵蓋從開機準備到數據保存的全過程。
測量前準備

環境與樣本檢查：確保儀器放置在穩固的臺面上，遠離強振動源和氣流。檢查樣本表面是否清潔、干燥，無松動顆粒。對于微小樣本，需確保其被穩定地固定于樣品臺上。

開機與初始化：依次打開儀器主機、電腦顯示器電源，最后啟動儀器主機。啟動配套的SensoMAP測量軟件，軟件通常會執行系統自檢和初始化流程。

樣本放置：將樣本輕放于樣品臺中心區域，避免碰撞物鏡。
對焦與測量設置

選擇物鏡與觀察：在軟件界面選擇適合的物鏡倍數。使用軟件控制樣品臺移動，找到需要測量的區域。通過實時圖像功能，調整Z軸高度直至圖像清晰。

選擇測量模式：根據樣本特性選擇“共聚焦"（Confocal）或“白光干涉"（VSI）模式。對于不熟悉的樣本，可先用共聚焦模式進行快速預覽。

設置掃描參數：設定垂直掃描的起始點和結束點，確保范圍能覆蓋待測特征的高度。設置合適的掃描步長，步長越小，理論上垂直分辨率越高，但掃描時間會增加。可啟用“自動曝光"功能讓系統優化光照條件。
執行測量與數據處理

開始測量：確認參數無誤后，啟動單點或區域掃描。儀器將自動完成Z軸掃描和數據采集。

數據重建與預覽：掃描結束后，軟件會自動處理數據，生成三維形貌圖、二維等高圖、輪廓線等，用戶可即時預覽測量效果。

大區域測量：若需測量超出單視場的區域，可使用軟件提供的拼接測量功能（如Tile Scan），預設拼接行列數，儀器將自動完成多視場測量與拼接。
數據分析與報告生成

數據調平與濾波：使用軟件的數據處理工具，首先應用“調平"功能去除樣本傾斜帶來的誤差。根據需要，可選用合適的濾波器（如高斯濾波器、形態學濾波器）分離形狀、波紋度和粗糙度成分。

參數提取：在感興趣區域（ROI）內，計算表面粗糙度參數（Sa, Sq, Sz等）、臺階高度、體積、表面積、幾何尺寸等。

結果保存與導出：將包含原始數據和分析結果的項目文件保存為特定格式。可將三維圖像、二維曲線和數據表格導出為通用格式（如.png, .csv），用于編制報告
總結
通過標準化的操作步驟，用戶可以系統性地完成測量任務，有助于減少操作誤差，保證測量結果的一致性和可追溯性。


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