Sensofar三維測量輪廓儀雙技術引擎解析?

產品簡介

Sensofar三維測量輪廓儀雙技術引擎解析?
Sensofar LIN系列是面向工業與實驗室環境設計的經濟型三維光學輪廓儀。該系列儀器將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種技術集成于一體，提供了在納米至毫米量程范圍內進行非接觸式三維形貌測量的解決方案。其設計注重操作的便捷性和測量的穩定性，適用于質量控制、研發分析等多種場景。

產品型號：LIN

更新時間：2025-10-23

廠商性質：代理商

訪問量：125

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

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Sensofar三維測量輪廓儀雙技術引擎解析

Sensofar LIN系列輪廓儀的多功能性，源于其集成的共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種核心技術。理解這兩種技術的工作原理和適用場景，有助于用戶充分發揮設備的性能。

共聚焦成像技術細節

共聚焦技術通過在光路中引入一個共軛針孔，來排除焦平面以外的雜散光。當物鏡對樣本進行垂直掃描時，只有處于焦點位置的光線能高效通過針孔被探測器接收。通過記錄每個橫向坐標點（x, y）上光強達到最大值時對應的垂直位置（z），就可以重建出樣本的三維形貌。這種技術對散射性強的表面（如粗糙金屬、噴砂表面）和具有陡峭側壁的結構有較好的測量效果，垂直量程也相對較大。

白光垂直掃描干涉（VSI）技術細節

VSI技術利用低相干性的白光作為光源。當物鏡進行垂直掃描時，從樣本表面反射的光束與從參考鏡反射的光束發生干涉。只有在光程差接近于零的很小范圍內，才會出現清晰的干涉條紋。通過算法定位每個像素點干涉條紋對比度最高的z軸位置，即可確定該點的高度值。VSI技術在測量光滑、平坦或輕微起伏的表面時，能實現亞納米級的垂直分辨率，但在測量高陡坡或大高差結構時可能存在挑戰。

雙技術協同工作

LIN系列的軟件允許用戶根據應用需求靈活選擇技術。例如，對于既有大范圍粗糙區域又有局部光滑臺階的樣本，可以先使用共聚焦模式進行快速預覽和定位，再切換到VSI模式對關鍵區域進行高分辨率測量。這種組合策略兼顧了測量效率和細節分辨能力，擴展了儀器的應用范圍。

性能表現的考量因素

兩種技術的性能均受所選物鏡的數值孔徑（NA）影響。高倍物鏡（高NA）提供更高的橫向分辨率，但景深和垂直量程會減小；低倍物鏡（低NA）則相反。LIN系列的自動物鏡轉盤使得在不同視場和分辨率下切換變得便捷。