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布魯克三維光學輪廓儀保障長期穩定運行為延長設備使用壽命，布魯克提供全生命周期服務方案，涵蓋日常清潔、定期校準與軟件更新。
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布魯克三維光學輪廓儀保障長期穩定運行
為延長設備使用壽命，布魯克提供全生命周期服務方案，涵蓋日常清潔、定期校準與軟件更新。
日常維護
光學部件清潔：每周使用專用鏡頭紙與無水乙醇清潔物鏡與反射鏡，避免劃傷鍍膜層。
機械結構檢查：每月檢查樣品臺軌道潤滑情況，補充高溫潤滑脂（如Molykote 33）；驗證平移臺移動順暢性，確保無卡滯或異響。
環境監控：在設備旁放置溫濕度記錄儀，當環境參數超出17-29℃、30-65%范圍時，啟動空調或除濕機調節。
定期校準
布魯克建議每2000小時進行一次全面校準，包括：
垂直分辨率驗證：使用NIST溯源的納米級臺階標樣（高度100nm），測量30次的標準偏差應＜0.1nm。
橫向定位精度測試：通過激光干涉儀檢測樣品臺XY軸移動誤差，確保重復性優于0.1μm。
光強穩定性檢測：連續測量標準樣品8小時，驗證垂直分辨率變化量≤0.4nm。
軟件與硬件升級
布魯克每年發布兩次軟件更新包，新增分析工具（如動態粗糙度分析）與行業標準兼容模塊。用戶可通過USB接口或網絡下載升級文件，整個過程耗時不超過15分鐘。針對硬件擴展需求，可選配自動化物鏡塔臺、電動離焦調整模塊或高溫樣品臺（最高150℃），進一步提升設備適應性。布魯克三維光學輪廓儀保障長期穩定運行