徠卡DM8000M顯微鏡使用安全與操作規(guī)范

為確保 DM8000M 在長期使用中的安全性與檢測精度，制定了以下操作規(guī)范與安全注意事項(xiàng)。

1. 環(huán)境要求

• 潔凈度：工作區(qū)應(yīng)符合 ISO 4?級以上潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，避免灰塵進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)。

• 溫濕度：溫度控制在 20?±?2?℃，相對濕度 45?±?5?%。溫濕度波動過大可能導(dǎo)致光學(xué)元件的熱膨脹，引起焦距漂移。

• 電源：使用穩(wěn)壓電源，額定電壓 220?V，頻率 50?Hz，避免電壓波動對 LED 光源壽命產(chǎn)生影響。

2. 操作流程

3. 安全注意事項(xiàng)

• 防護(hù)：操作時佩戴防靜電手套與防護(hù)眼鏡，防止晶圓碎屑或光源意外傷害。

• 光源防護(hù)：LED 光源雖低熱，但長時間開啟仍會產(chǎn)生一定熱量，避免直接用手觸摸光源部件。

• 緊急停機(jī)：儀器配備緊急停止按鈕，出現(xiàn)異常噪音或振動時立即按下，以防機(jī)械損傷。

4. 維護(hù)保養(yǎng)

• 光源更換：LED 光源壽命約 20?000?小時，系統(tǒng)會提前提示更換時間。更換時請使用原廠配件。

• 光學(xué)清潔：每月使用專用光學(xué)清潔紙輕拭物鏡與目鏡，避免使用酒精或其他溶劑。

• 機(jī)械檢查：每半年檢查滾珠絲杠的潤滑情況，必要時添加專用潤滑油。

5. 培訓(xùn)要求

所有操作人員必須通過廠家提供的基礎(chǔ)培訓(xùn)，掌握儀器的基本結(jié)構(gòu)、操作流程與安全規(guī)范。培訓(xùn)合格后方可獨(dú)立使用儀器。

遵循上述安全與操作規(guī)范，能夠大程度保障 DM8000M 的檢測精度與使用壽命，為半導(dǎo)體生產(chǎn)提供持續(xù)、可靠的檢測支持。

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