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產品中心三維光學輪廓儀BEUKER白光干涉光學輪廓儀布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化檢測分析
產品簡介
布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化檢測分析布魯克白光干涉儀的應用范圍覆蓋了從前沿科學研究到工業化生產的多個環節。
產品分類
許多工業及科研樣品表面復雜，可能存在高陡坡、多層薄膜或反射率差異大的區域。布魯克白光干涉儀通過特定的技術設計來處理這些情況。布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化檢測分析
對于具有高深寬比或陡峭側壁的結構，儀器配備的長工作距離物鏡和光路設計，有助于光線抵達特征底部并返回，從而改善了對復雜形貌的還原度。其增強的算法對斜率較大的區域也能進行有效的分析。
在測量晶圓上的透明薄膜或涂層時，可能會遇到多層干涉信號的干擾。設備提供的選配分析模塊，能夠辨識并區分這些信號，從而評估薄膜厚度或下層界面的形貌。
面對反射率過高或過低的樣品，用戶可調節光源強度，并可選擇安裝偏振附件來優化干涉效果，避免信號失真，使得在不同材質上都能獲得較清晰的測量數據，擴展了其應用范圍。
提升檢測效率和結果一致性是現代測量的一個方向。布魯克白光干涉儀結合自動化硬件與軟件分析功能，來支持這一需求。
儀器可搭載電動控制的樣品臺、自動切換的物鏡轉盤和自動對焦系統。用戶能在軟件中預先規劃多個測量點位，設備隨后按序自動執行所有檢測，減少了人工操作，適用于批量檢測或大樣品的多區域統計。
其分析軟件提供了多種數據處理工具：
三維形貌顯示: 生成可視化的三維表面圖。
二維輪廓分析: 提取任意位置的截面線，進行點、線尺寸的測量。
粗糙度參數計算: 依據相關標準，輸出一系列表面粗糙度參數。
功能分析: 進行表面積、體積、孔隙率等分析。
報告生成: 將測量結果與數據導出生成定制化報告。
這些功能協助用戶將測量數據轉化為可用于工藝判斷的量化信息。布魯克白光干涉光學輪廓儀自動化檢測分析