1

精度躍遷：測量噪聲低至 0.1 nm（亞納米級），堪稱超光滑表面檢測的解決方案

復(fù)雜表面征服者：對具有臺階或局部傾斜的樣品實現(xiàn)無失真成像

抗干擾升級：消除傳統(tǒng)干涉測量中的條紋噪聲與相位突變問題

2

配方革命：

單測量配方（SMR）：一鍵保存全參數(shù)配置

多測量配方（MMR）：在多個位置自動復(fù)現(xiàn)掃描程

效率倍增：

減少90%人工干預(yù)

批量檢測一致性提升200%

場景適配：特別適用于圖案化晶圓、重復(fù)質(zhì)檢等高頻任務(wù)

3

技術(shù)矩陣：同時集成 多焦面疊加、共聚焦、干涉測量（含CSI與ePSI）

智能切換：系統(tǒng)自動匹配最佳技術(shù)方案，告別手動調(diào)參

性能鐵三角：

速度 – 毫秒級響應(yīng)

精度 – 亞納米級誤差

兼容性 – 全表面類型通吃

4

航天級精度：0.1 nm分辨率滿足最嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)

智能減負(fù)：APM模塊讓操作員專注價值決策

未來兼容：開放式架構(gòu)支持后續(xù)功

S lynx 2的升級不僅是硬件的迭代，更是光學(xué)計量智能化的重要里程碑。它正在全球頂尖實驗室和生產(chǎn)線中創(chuàng)造價值——您準(zhǔn)備好擁抱這場精度革命了嗎？