Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光學輪廓儀的操作設計，充分兼顧了新手易用性與專業需求。其核心操作載體 SensoSCAN 軟件采用直觀界面布局，左側功能欄清晰劃分測量模式選擇、參數設置等模塊，右側實時成像區域可同步顯示樣品狀態，底部狀態欄則實時更新掃描進度與存儲路徑，讓操作過程全程可視。
導航預覽功能大幅降低定位難度，正式測量前點擊預覽，設備自動生成低倍全景圖，用戶框選目標區域后，軟件會自動調整鏡頭位置對準測量點，更換 2.5x 至 100x 物鏡時，預覽圖還能同步顯示視場范圍，避免測量點丟失。測量模式可靈活切換，共聚焦、相位差干涉等四種模式覆蓋不同樣品特性，每種模式均有默認參數，新手可直接使用，專業用戶也能手動調整掃描范圍等參數，且調整過程實時預覽效果。
硬件操作同樣便捷，電動樣品臺通過軟件操縱桿即可實現 XYZ 軸移動，移動精度達微米級，20kg 的承重能力適配多種尺寸樣品，兩側可調節夾具能穩固固定工件。鏡頭采用卡扣式設計，旋轉即可完成裝卸，軟件還會自動識別鏡頭型號并匹配參數。批量檢測時增配 SensoPRO LT 軟件，預設程序后可實現全自動測量，支持插件式擴展行業專用模塊，進一步提升效率。
S neox 通過融合多種光學測量技術，實現了從光滑到粗糙表面的全范圍檢測。其核心技術包含白光干涉（CSI）與相位移干涉（PSI），前者基于白光短相干特性，分光鏡將光源分為參考光與測量光，反射后合并產生干涉條紋，系統通過垂直掃描捕捉信號重建形貌，縱向分辨率達 0.1nm，橫向分辨率 0.16μm。后者通過壓電陶瓷驅動參考鏡實現相位移動，采集多幅圖樣提取高度信息，適配超光滑表面測量需求。
設備還集成共聚焦與 Ai 多焦面疊加技術，點擊即可自動切換適配技術。多焦面疊加技術單次掃描深度達 8mm，支持 86° 斜率粗糙表面測量，適用于模具等復雜結構檢測。核心光學部件采用低色散光學玻璃，經多層增透膜處理提升透光率，鏡頭鏡筒選用不銹鋼材質，抵抗溫度形變保障同軸度。量子點增強型 CMOS 傳感器在 180 幀 / 秒高速采集下，仍能保持 0.12μm 橫向分辨率，可監測動態過程。
實時環境補償算法（REC）讓設備在振動幅度超 100nm 的普通環境中穩定工作，無需專用光學平臺。RGB 三色 LED 實現真色彩還原，同步獲取形貌、膜厚與折射率數據，減少多次測量誤差。無運動部件的微顯示器掃描共聚焦設計，進一步消除振動干擾，提升系統穩定性。
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更新時間：2025-09-24
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