飛秒激光微銑削和功能紋理化的測(cè)量

得益于 Sensofar 的新技術(shù)“共聚焦融合"（結(jié)合了共聚焦和多焦面疊加技術(shù)），玻璃或 PMMA 等透明材料也可以進(jìn)行成像。

飛秒激光是一種具有超短脈沖持續(xù)時(shí)間的激光。直到 2016 年，飛秒激光器才能夠被集成到 5 軸機(jī)床上。瑞士的 Georg Fischer 集團(tuán)在2016 年最先實(shí)現(xiàn)了這一目標(biāo)，因此成為該技術(shù)的世界先驅(qū)者。 這一發(fā)展為制造工藝帶來(lái)了新的可能性。

與傳統(tǒng)技術(shù)和/或其他激光相比，超短脈沖持續(xù)時(shí)間激光有兩個(gè)主要優(yōu)勢(shì)：

(1) 無(wú)毛刺微銑削。幾乎對(duì)零件沒(méi)有熱效應(yīng)。產(chǎn)品經(jīng)過(guò)干凈、鋒利的微銑削，具有非常鋒利的邊緣和高質(zhì)量的表面光潔度。

(2)“冷激光"，使我們可以在任何材料上進(jìn)行雕刻：藍(lán)寶石、塑料、玻璃、陶瓷、鋁、鋼等。

用于進(jìn)行微銑削和功能紋理化的最佳技術(shù)。當(dāng) Microrelleus 在 2016 年投資購(gòu)買五軸飛秒激光機(jī)床時(shí)，測(cè)量要求已發(fā)生變化。他們需要一種技術(shù)來(lái)在微米和納米級(jí)別上進(jìn)行功能紋理化分析和測(cè)量。并且一切都需要以在高精確度下快速執(zhí)行。

圖 1. 飛秒激光機(jī)床

激光微銑削

該技術(shù)是在模具、微流體通道、微銑削應(yīng)用中制造微腔的選擇，適用于回火鋼工具或硬質(zhì)合金工具等。通過(guò)使用具有 5 倍和 20 倍物鏡的 Sensofar 技術(shù)，我們能夠通過(guò)易于使用和操作的采集和分析軟件快速高效地檢查每個(gè)微銑削項(xiàng)目。

得益于 Sensofar 結(jié)合共聚焦和多焦面疊加技術(shù)的**能力，玻璃或 PMMA 等透明材料也可以進(jìn)行成像。這項(xiàng)新技術(shù)被稱為“共聚焦融合"，它將兩種技術(shù)的信息合并到同一幅形貌圖中，而不會(huì)影響采集時(shí)間。Sensofar 的軟件算法經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以為每個(gè)像素選擇最佳采集數(shù)據(jù)。因此，操作員可以在共聚焦模式下以低放大倍率物鏡在高反射表面上測(cè)量高傾斜角，即激光紋理表面上的常見(jiàn)特征。

圖 2. 硬 質(zhì) 合 金 刀 具 微 銑 削 和 多 焦 面 疊 加 顯 微 鏡 分 析

功能紋理化

功能紋理化因?yàn)樵谒芰狭悴考牟牧匣蚰＞呱戏疆a(chǎn)生了微結(jié)構(gòu)或納米結(jié)構(gòu)，因此增加了零部件的功能性。功能包括：超疏水性、超親水性、抗菌、減少摩擦、光衍射等。 這是一個(gè)新的復(fù)雜過(guò)程，我們必須確保在創(chuàng)建形狀時(shí)微米和納米尺度上的大小都是準(zhǔn)確無(wú)誤的。

憑借 Sensofar 出色的橫向分辨率，我們能夠使用 Sensofar 輪廓儀在共聚焦模式下以 100 倍放大倍率來(lái)分析微觀結(jié)構(gòu)上的納米結(jié)構(gòu)這是使用其他制造商的多焦面疊加顯微鏡所無(wú)法實(shí)現(xiàn)的，而這也是實(shí)現(xiàn)最佳紋理功能的關(guān)鍵要求。

圖 3. 共 聚 焦 顯 微 鏡 分 析 用 于 超 疏 水 目 的 的 微 米 和 納 米 紋 理

圖 4. 共 聚 焦 顯 微 鏡 分 析 用 于 光 衍 射 目 的 的 納 米 紋 理

Sensofar 的共聚焦和多焦面疊加技術(shù)組合可有效地分析任何材料的微銑削和功能紋理化，無(wú)論是在微米還是在納米級(jí)別。

我們能夠獲得快速且無(wú)損的測(cè)量結(jié)果，以確保實(shí)現(xiàn)以下目標(biāo)：

1) 微銑削位于正確的公差范圍內(nèi)。
2) 功能紋理化能夠根據(jù)創(chuàng)建的紋理正常運(yùn)行